Polovodičové CNC obráběné díly
Vyrábíme na zakázkupolovodičové CNC obráběné dílyze zákaznických výkresů a souborů CAD, včetněsoučásti vakuových komor, desky a armatury pro distribuci plynu, součásti pro manipulaci a upínání destiček, součásti čerpadel a ventilů, součásti RF, chladicí desky, chladiče a součásti procesních sad. Naše možnosti CNC soustružení, frézování, 5-obrábění, švýcarského CNC a soustružnického-frézování podporují komponenty s vysokou tolerancí pro leptání, nanášení, litografii, iontovou implantaci, CMP a metrologická zařízení.
Části polovodičových zařízení žijí v jiném světě než běžné průmyslové části: musí přežítvakuum, korozní procesní plyny, plazma, teplotní cykly a požadavky na kontrolu-částic. Výběr materiálu je proto prvním rozhodnutím v každém projektu obrábění polovodičů. Vyrábíme přesné třídy -316L VIM-VAR a 316L nerez, hliník 6061-T6 a 7075-T6, titan třídy 5, molybden TZM, OFHC měď C10100, slitiny niklu a technické plasty PEEK/PTFE- a tam, kde to aplikace vyžaduje, použijte povrchové úpravy kompatibilní-pro čisté prostory. Díly jsou vyráběny podle specifikovaných rozměrů, tolerancí, materiálů a požadavků na konečnou úpravu, přičemž materiálové certifikáty jsou k dispozici na vyžádání.
Od jednotlivých prototypů pro vývoj nových nástrojů až po opakované výrobní série náhradních procesních sad, obrábíme polovodičové součástky na výkres - bez ohledu na množství.
CNC obráběné díly pro polovodičové aplikace

Zařízení pro leptání a nanášení
Tělesa komor · vložky komor · desky pro rozvod plynu · elektrodové sestavy · zaostřovací kroužky · upínací kroužky · montážní díly sprchové hlavice
Materiály:6061-T6 · 316L VIM-VAR · Titan třídy 5

Vakuové systémy a dodávky plynu
Vakuové příruby (CF/KF/ISO) · součásti šoupátek · armatury plynového potrubí · čelní těsnění typu VCR- · rozdělovací bloky · montážní díly čerpadla
Materiály:316L VIM-VAR · 316L · 304L · 6061-T6

Manipulace a přeprava plátků
Robotická ramena · koncové efektory · waferové svorky · okrajové úchyty · kazetové komponenty · díly elevátoru a vidlic · kinematické držáky
Materiály:6061-T6 · 7075-T6 · · C17200 beryliová měď · Titan třídy 5

Iontové implantáty a díly Beamline
Komponenty Beamline · elektrody · apertury · odrušovací a extrakční části · vysokoteplotní{0}}štíty
Materiály:TZM molybden · Tungsten W · Ta-2,5W tantal

RF a plazmové napájecí komponenty
RF konektory · průchodková pouzdra · držáky elektrod · stínící části · kontaktní pružiny
Materiály:C10100 OFHC měď · C11000 · C17200 · 6061-T6 · 316L

Tepelný management a CMP
Chladicí desky · součásti chladičů · chladiče · Části hlavy CMP · pojistné kroužky · součásti desky
Materiály:C10100 OFHC měď · 6061-T6 · 316L

Zařízení pro metrologii a kontrolu
Optické držáky · komponenty jeviště · základní desky · ustavovací přípravky · kinematické montážní díly
Materiály:6061-T6 · 7075-T6 · Titan třídy 5

Zařízení pro mokré zpracování a čištění
Součásti nádrže a vany · ostřikovací ramena · držáky trysek · díly válečků a kartáčů · chemicky-odolné armatury
Materiály:316L · Hastelloy C-276 · Titan třídy 2
Vyrábíme polovodičové CNC obráběné díly

Komponenty vakuové komory
Tělesa komor, víka, vložky a montážní kroužky s řízenou rovinností, těsnicími plochami a nízkými požadavky na odplynění.
Materiály:6061-T6 · 316L VIM-VAR · 316L

Vakuové příruby a armatury
CF (ConFlat), KF a ISO příruby, vsuvky, adaptéry a armatury plynového potrubí pro UHV servis.
Materiály:316L VIM-VAR · 316L · 304L

Desky a trysky pro rozvod plynu
Přesné-vrtané distribuční desky, trysky vstřikovačů a montážní materiál sprchové hlavice.
Materiály:6061-T6 · Titan třídy 5 · 316L

Svěrky, kroužky a rukojeti na destičky
Zaostřovací kroužky, upínací kroužky, úchyty hran a vodítka destiček s pevnou rovinností a rozměrovou kontrolou.
Materiály:6061-T6 · C17200 · Titan třídy 5

Robotická ramena a koncové efektory
Přenosová ramena, vidlice a koncové efektory s vyváženou hmotností, tuhostí a kontrolou částic.
Materiály: 7075-T6 · 6061-T6 · C17200

Komponenty čerpadel a ventilů
Tělesa, rotory, lopatky, talíře, sedla a vřetena pro suchá čerpadla, šoupátka a hardware pro-regulaci průtoku.
Materiály:316L · 17-4 PH · Hastelloy C-276

Procesní sada a spotřební díly
Vyměnitelné díly sady určené pro opakované objednávky s konzistentními tolerancemi a čistotou.
Materiály:6061-T6 · Titan 5. třídy · 316L VIM-VAR

Chladicí desky a chladiče
Vodou-chlazené desky, chladiče a části chladičů s rovnými-kritickými povrchy.
Materiály:C10100 OFHC měď · 6061-T6 · 316L

RF a kontaktní komponenty
RF pouzdra, části konektorů, kontaktní pružiny a komponenty stínění EMI.
Materiály: C10100 · C11000 · C17200 · 6061-T6
Máte vlastní polovodičový díl? Pošlete svůj CAD soubor
CNC obráběcí procesy pro polovodičové díly
CNC soustružení
Nejlepší pro:Armatury · vsuvky · vřetena ventilů · rotory čerpadel · trysky
Ideální pro válcové součásti s těsnou soustředností.
CNC frézování
Nejlepší pro:Tělesa komor · základní desky · rozdělovače · držáky
Vhodné pro ploché, prizmatické a multi{0}}komponenty.
5osé CNC obrábění
Nejlepší pro:Koncové efektory · komplexní pouzdra · RF komponenty
Obrábí složité geometrie a složené úhly v jednom nastavení.
CNC soustružení-Frézování
Nejlepší pro:Armatury plynového potrubí · díly spojky s frézovanými prvky
Kombinuje soustružení a frézování pro složité rotační součásti.
Švýcarské CNC obrábění
Nejlepší pro:Malé armatury · komponenty snímačů · přesné kolíky
Navrženo pro malé, štíhlé a{0}}velkoobjemové přesné součásti.
CNC broušení a honování
Nejlepší pro:Těsnící plochy · sedla ložisek · přesné otvory
Používá se pro kritické průměry, lícování a zrcadlové úpravy (dosažitelné Ra 0,1–0,4 μm).
Polovodičové CNC obráběcí materiály
U polovodičových součástek závisí výběr materiálu navakuová kompatibilita, procesní chemie, odolnost plazmatu, teplota, magnetismus, tvorba částic a tepelný management. Obrábíme řadu kovových a technických plastových materiálů pro komory, plynové systémy, manipulaci s destičkami, RF a tepelné díly.
| Materiál | Společné známky | Typické polovodičové aplikace | Klíčové výhody |
|---|---|---|---|
| Hliník | 6061-T6 · 6063-T5 · 7075-T6 · 5052-H32 | Tělesa komor, základní desky, ramena robotů, chladiče, držáky | Lehký, eloxovatelný, dobrá tepelná vodivost; 6061-T6 je tahoun pro kování komory |
| Nerez | 304 l · 316 l · 316 l VIM-VAR · 17-4 PH (630) | Vakuové příruby, plynové armatury, díly ventilů,-vysokopevnostní hardware | odolnost proti korozi a teplotě; 316L VIM-VAR je standard pro službu nízkého odplynění UHV- |
| Titan | Stupeň 2 (CP) · Stupeň 5 (Ti-6Al-4V) | Části rozvodu plynu, procesní soupravy, hardware pro mokré zpracování | Odolnost vůči plazmě a chemikáliím, vysoká pevnost-na-váhu, ne-magnetické |
| Měď | C10100 (OFHC) · C11000 · C17200 beryliová měď | RF díly, chladicí desky, kontaktní pružiny, elektrický hardware | Vynikající elektrická a tepelná vodivost; OFHC ideální pro RF a tepelný management |
| Slitiny niklu | Inconel 718 · Hastelloy C-276 · Invar 36 | Chemicky -odolné armatury, vysokoteplotní{1}}části, metrologické struktury | Chemická a teplotní odolnost; Invar 36 nabízí téměř-nulovou tepelnou roztažnost |
Proč 316L VIM-VAR?U komponentů s ultra{0}}vysokým{1}}vakuem (UHV) obrábíme316L VIM-VAR- dvojitá-tavená nerez s velmi nízkým obsahem plynu a inkluzí. Méně odplyňuje, svařuje předvídatelněji a zůstává čistý ve vakuovém provozu. Pokud váš výkres specifikuje VIM-VAR nebo elektrolyticky leštěný 316L, můžeme dodat materiál s plnou certifikací.
Výběr materiálu pro prostředí vakua a čistých prostor
Kompatibilita s vakuem a odplyňování
Materiály uvnitř komory nesmí odplyňovat nebo zachycovat částice. 316L VIM-VAR, 6061-T6 jsou běžné volby; pórovitost a povrchová úprava jsou řízeny tak, aby odplyňování bylo nízké.
Chemická a plazmová odolnost
Halogenové a fluorované procesní plyny napadají mnoho kovů. TZM molybden, Ta-2,5W, Hastelloy C-276, titan Grade 5 jsou vybrány pro korozní chemii a plazmovou expozici.
Kontrola částic a kontaminace
Opotřebení, hrany a zachycené nečistoty vytvářejí částice, které zabíjejí výnos. Před balením odstraňujeme otřepy z každé hrany, kontrolujeme drsnost povrchu a čistíme díly podle standardů pro čisté prostory.
Tepelný management
Teplo ovlivňuje rovnoměrnost procesu. C10100 OFHC měď a 6061-T6 se používají pro chladicí desky a chladiče; TZM a wolfram zvládají vysokoteplotní beamline a části komory.
Magnetické a elektrické vlastnosti
Některé procesy vyžadují ne-magnetické materiály, jako je 316L, titan třídy 5; RF a zemnící hardware používá OFHC měď C10100 a beryliovou měď C17200.
Přesnost a stabilita
Metrologické a litografické díly vyžadují rozměrovou stabilitu: hliník 6061-T6 a 7075-T6, titan třídy 5 drží geometrii i při změnách teploty.
Tolerance a specifikace polovodičového CNC obrábění
Polovodičové součástky často vyžadují mikronovou-přesnost na těsnicích plochách, montážních základnách, kontaktních plochách-waferů a přesných otvorech, takže nástroje se sestaví správně a procesy zůstanou opakovatelné.
| Specifikace | Typická schopnost | Typické polovodičové aplikace |
|---|---|---|
| Lineární rozměry | ±0,01 mm (přesnost na ±0,005 mm) | Komorové díly, základní desky, rozdělovače |
| Průměr vrtání a hřídele | ±0,005–0,01 mm | Rotory čerpadel, vřetena ventilů, přesné fitinky |
| Plochost | Až 0,01 mm/100 mm | Těsnící čela, chladicí desky, kinematické uložení |
| Soustřednost / házivost | Až 0,01 mm | Rotační části čerpadla, spojky |
| Skutečná pozice | ±0,01 mm | Vzory otvorů-pro šrouby, otvory pro rozvod plynu |
| Drsnost povrchu | Ra 0,2–0,8 μm standard; Ra 0,1–0,4 μm na vyžádání | Těsnící plochy, kontaktní plochy-waferů, vnitřky komor |
| Odjehlování hran | Kontrolováno podle výkresu (k dispozici je mikro-odjehlovač) | Všechny částice-kritické části |
| Tolerance závitu | Podle požadavků ISO / ASME | Fitinky, příruby, montážní kování |
Kritické funkce, které kontrolujeme
Těsnění a O-kroužkové drážky- kontrolovaná hloubka, šířka a povrchová úprava pro vakuová a kapalinová těsnění.
Kontaktní plochy-wafer- kontrola rovinnosti a drsnosti, aby se zabránilo poškození plátků a vytváření částic.
Přesné vývrty a lícování- přesné otvory pro ložiska, hřídele a lisované-komponenty.
Otvory pro rozvod plynu- přesná velikost otvoru, poloha a odstranění otřepů pro rovnoměrný průtok plynu.
Porovnávací a montážní vlastnosti- konzistentní základny pro opakovatelné sestavení a zarovnání.
Povrchové úpravy polovodičových CNC dílů
Povrchová úprava je součástí strategie kontaminace a koroze v polovodičových zařízeních. Správná povrchová úprava kontroluje částice, odplyňování, chemickou odolnost a elektrické chování.
| Povrchová úprava | Použitelné materiály | Typické polovodičové díly | Hlavní přínos |
|---|---|---|---|
| Elektroleštění | 316L VIM-VAR · 316L · 304L | Vakuové příruby, plynové potrubí, vložky komor | Odstraňuje povrchový materiál a inkluze; snižuje odplyňování a zachycování částic |
| Pasivace | 316L · 304L · 17-4 PH | Kování, spojovací materiál, díly ventilů | Odstraňuje volné železo, zlepšuje odolnost proti korozi |
| Eloxování typu II | 6061-T6 · 6063-T5 | Tělesa komor, základové desky, konzoly | Izolační vrstva odolná proti korozi-; barevné možnosti |
| Tvrdé eloxování (Typ III) | 6061-T6 · 7075-T6 | Opotřebitelné plochy, vedení, díly robotů | Tvrdá ochranná vrstva-odolná proti opotřebení |
| Bezproudové niklování | 6061-T6 · 7075-T6 · Ocel | Hardware komory, součásti procesní sady | Rovnoměrná ochrana proti opotřebení a korozi |
| Zlacení | C10100 · C11000 · 6061-T6 | RF kontakty, konektorové díly | Nízký přechodový odpor, ochrana proti korozi |
| Pocínování | C10100 · C11000 | Elektrické vodiče, přípojnice | Pájitelnost a ochrana proti korozi |
| Tryskání korálků | 6061-T6 · 316L · Ocel | Pouzdra, kryty, -nekritické povrchy | Jednotný matný povrch (kontrolovaný pro uvolňování částic) |
| Čisté prostory Úklid | Všechny materiály | Všechny díly před zabalením | Více{0}}stupňové ultrazvukové čištění, bez oleje, bez zbytků, s kontrolou částic- |
Kontrola kvality polovodičového CNC obrábění
Během výroby kontrolujeme kritické rozměry, lícování, rovinnost, házivost a povrchové požadavky, abychom zajistili, že CNC obráběné polovodičové díly splňují výkres. Pro projekty, které vyžadují zdokumentovanou kvalitu, můžeme dodat materiálové certifikáty, zprávy o rozměrech a dokumentaci o čistotě na podporu vaší vstupní kontroly.

Ověření materiálu

Ověření materiálu

Rozměrová kontrola

Inspekce GD&T

Kontrola závitu

Kontrola povrchové úpravy

Závěrečná kontrola

Kontrola obalů
| Kontrolní položka | Zařízení / Metoda | Typické polovodičové díly |
|---|---|---|
| Rozměrová kontrola | CMM · Posuvná měřítka · Mikrometry | Celkové rozměry dílu |
| Průměr vrtání a hřídele | Měrka vrtání · Měrka kolíků · CMM | Rotory čerpadel, vřetena ventilů, armatury |
| Plochost a rovnoběžnost | Povrchová deska · CMM | Těsnící čela, chladicí desky |
| Skutečná pozice | CMM | Vzory otvorů, desky pro rozvod plynu |
| Drsnost povrchu | Tester drsnosti | Těsnící plochy, kontaktní plochy-waferů |
| Kontrola závitu | Go/No-Go Thread Gauge | Kování a spojovací materiál |
| Ověření materiálu | Spektrometr + certifikát materiálu | Vstupní surovina (k dispozici v EN 10204 3.1; certifikace VIM-VAR na vyžádání) |
| Kontrola čistoty | Vizuální + kontrola částic na vyžádání | Díly dodané-do čistých prostor |
| Závěrečná kontrola | CMM + Inspekční zpráva | Konečné rozměrové přijetí |
Potřebujete zdokumentovanou kontrolu kvality?Pošlete nám své výkresy a požadavky na kontrolu.
Prototyp a nízkoobjemové CNC obrábění pro polovodiče-
Polovodičové projekty často začínají prototypy - návrhů nových nástrojů, vývojem procesních sad, upgradovanými součástmi nebo náhradními součástmi, které musí být před výrobou ověřeny. podporujemeprototypové a maloobjemové-obrábění CNCod počátečních vzorků po opakování malých{0}}dávkových objednávek.
Obrábění prototypu
Pro vývoj nových nástrojů, ověřování procesů a změny designu.
Typické množství:1–10 ks
Nízká-produkce
Pro pilotní systémy, upgrady nástrojů a počáteční výrobní série.
Typické množství:10–1,000+ ks
Opakujte výrobu
Pro náhradní procesní sady a opakované objednávky se zavedenými návrhy.
Typické množství:Na základě požadavků projektu
Vhodné pro
Hardware vakuové komory a dodávky plynu
Komponenty pro manipulaci a upínání destiček
Leptání, depozice a iontové implantační díly
RF, elektrické a tepelné řídící díly
Metrologické a kontrolní přípravky
Náhradní díly a sady procesů pro stávající nástroje
Balení a dodací lhůta pro polovodičové CNC díly

Obal
Individuální ochrana:PE sáčky, pěna nebo ochranná fólie na opracované povrchy
Balení pro čisté prostory:Vyčištěné díly zabalené v dvojitém-sáčku do čistých sáčků (k dispozici je možnost propláchnutí dusíkem{1}}
Malé díly:Dělené kartony, aby se zabránilo poškrábání a kontaktu mezi jednotlivými-částmi{1}}
Přesné díly:Pěnové vložky a oddělené přihrádky pro kritické komponenty
Vlastní balení:Čísla dílů, štítky, množství a požadavky na balení{0}}specifické pro zákazníka
Typická dodací lhůta
| Typ objednávky | Typická dodací lhůta |
|---|---|
| Prototyp | 5–10 pracovních dnů |
| Nízký-objem objednávky | 10–20 pracovních dnů |
| Výrobní zakázka | 15–30 pracovních dnů |
| Opakujte objednávku | 10–25 pracovních dnů |
FAQ
Otázka: Jaké polovodičové CNC obráběné díly můžete vyrobit?
A: Vyrábíme zakázkové součásti vakuových komor, příruby a armatury plynového potrubí, plynové distribuční desky, waferové svorky a kroužky, součásti robotických ramen, součásti čerpadel a ventilů, součásti paprskového vedení iontových implantátorů, RF součásti, chladicí desky, chladiče a součásti procesních sad pro polovodičová zařízení.
Otázka: Jaké tolerance CNC obrábění můžete dosáhnout?
Odpověď: Naše standardní CNC tolerance je typicky ±0,05 mm, s přesností obrábění až ±0,02 mm a vybranými kritickými vlastnostmi do ±0,005–0,01 mm, v závislosti na geometrii, materiálu a požadavcích výkresu.
Otázka: Můžete dodat 316L VIM-VAR pro vakuové komponenty?
A: Ano. Pro ultra-vysoké-vakuové služby můžeme obrábět 316L VIM-VAR (vakuově indukčně tavené a vakuově přetavené) s nízkým obsahem plynu, dodávané s certifikací materiálu. Elektroleštění je k dispozici pro snížení odplyňování a zachycování částic.
Otázka: Nabízíte čištění a balení-kompatibilní s čistými prostory?
A: Ano. Díly lze více-čistit ultrazvukem, sušit a dvojitě-sáčky zabalit do čistých sáčků (volitelně propláchnutí dusíkem), aby povrchy zůstaly bez částic-pro dodávky do čistých prostor.
Otázka: Můžete dodat materiálové certifikáty a inspekční zprávy?
A: Ano. V závislosti na požadavcích projektu můžeme poskytnout materiálové certifikáty (EN 10204 3.1, včetně certifikace VIM-VAR), zprávy o rozměrových kontrolách, zprávy CMM a záznamy o povrchové úpravě.
Otázka: Dokážete obrábět ne-magnetické součásti?
A: Ano. Obrábíme ne-magnetické třídy včetně nerezu 316L, titanu třídy 5, hliníku 6061-T6 a PEEK pro aplikace, kde je třeba se vyhnout magnetismu.
Otázka: Jaké povrchové úpravy aplikujete na polovodičové součásti?
Odpověď: V závislosti na materiálu a aplikaci nabízíme elektrolytické leštění, pasivaci, tvrdou anodizaci typu II a typu III, bezproudové niklování, zlacení a cínování, tryskání perličkami a čištění čistých prostor.
Otázka: Přijímáte 2D výkresy a soubory CAD?
Odpověď: Můžeme pracovat z běžných souborů STEP, STP, IGES, IGS, SolidWorks, DXF a 2D výkresů.
Otázka: Podporujete výrobu prototypů a-malých objemů?
A: Ano. Podporujeme prototypová množství od 1 do 10 kusů, malosériovou -výrobu od 10 do 1000+ kusů a také opakované výrobní zakázky na procesní sady a náhradní díly.
Otázka: Jaká je typická dodací lhůta pro polovodičové CNC díly?
Odpověď: Typické dodací lhůty jsou 5–10 pracovních dnů pro prototypy, 10–20 pracovních dnů pro nízké-objemové objednávky a 15–30 pracovních dnů pro výrobní zakázky v závislosti na složitosti dílu, množství, materiálu a dokončení.
Populární Tagy: polovodičové cnc obráběné díly, Čína výrobci polovodičových cnc obráběných dílů, dodavatelé, továrna, titan
Dvojice
NeMohlo by se Vám také líbit
Odeslat dotaz











