Polovodičové CNC obráběné díly

Vyrábíme na zakázkupolovodičové CNC obráběné dílyze zákaznických výkresů a souborů CAD, včetněsoučásti vakuových komor, desky a armatury pro distribuci plynu, součásti pro manipulaci a upínání destiček, součásti čerpadel a ventilů, součásti RF, chladicí desky, chladiče a součásti procesních sad. Naše možnosti CNC soustružení, frézování, 5-obrábění, švýcarského CNC a soustružnického-frézování podporují komponenty s vysokou tolerancí pro leptání, nanášení, litografii, iontovou implantaci, CMP a metrologická zařízení.

 

Části polovodičových zařízení žijí v jiném světě než běžné průmyslové části: musí přežítvakuum, korozní procesní plyny, plazma, teplotní cykly a požadavky na kontrolu-částic. Výběr materiálu je proto prvním rozhodnutím v každém projektu obrábění polovodičů. Vyrábíme přesné třídy -316L VIM-VAR a 316L nerez, hliník 6061-T6 a 7075-T6, titan třídy 5, molybden TZM, OFHC měď C10100, slitiny niklu a technické plasty PEEK/PTFE- a tam, kde to aplikace vyžaduje, použijte povrchové úpravy kompatibilní-pro čisté prostory. Díly jsou vyráběny podle specifikovaných rozměrů, tolerancí, materiálů a požadavků na konečnou úpravu, přičemž materiálové certifikáty jsou k dispozici na vyžádání.

 

Od jednotlivých prototypů pro vývoj nových nástrojů až po opakované výrobní série náhradních procesních sad, obrábíme polovodičové součástky na výkres - bez ohledu na množství.

 

Pošlete svůj nákres polovodičové součásti- odešlete svůj výkres nebo soubor CAD ke kontrole materiálu a obrábění.

 

Máte vlastní polovodičový díl? Pošlete svůj CAD soubor

 

 

U polovodičových součástek závisí výběr materiálu navakuová kompatibilita, procesní chemie, odolnost plazmatu, teplota, magnetismus, tvorba částic a tepelný management. Obrábíme řadu kovových a technických plastových materiálů pro komory, plynové systémy, manipulaci s destičkami, RF a tepelné díly.

Materiál	Společné známky	Typické polovodičové aplikace	Klíčové výhody
Hliník	6061-T6 · 6063-T5 · 7075-T6 · 5052-H32	Tělesa komor, základní desky, ramena robotů, chladiče, držáky	Lehký, eloxovatelný, dobrá tepelná vodivost; 6061-T6 je tahoun pro kování komory
Nerez	304 l · 316 l · 316 l VIM-VAR · 17-4 PH (630)	Vakuové příruby, plynové armatury, díly ventilů,-vysokopevnostní hardware	odolnost proti korozi a teplotě; 316L VIM-VAR je standard pro službu nízkého odplynění UHV-
Titan	Stupeň 2 (CP) · Stupeň 5 (Ti-6Al-4V)	Části rozvodu plynu, procesní soupravy, hardware pro mokré zpracování	Odolnost vůči plazmě a chemikáliím, vysoká pevnost-na-váhu, ne-magnetické
Měď	C10100 (OFHC) · C11000 · C17200 beryliová měď	RF díly, chladicí desky, kontaktní pružiny, elektrický hardware	Vynikající elektrická a tepelná vodivost; OFHC ideální pro RF a tepelný management
Slitiny niklu	Inconel 718 · Hastelloy C-276 · Invar 36	Chemicky -odolné armatury, vysokoteplotní{1}}části, metrologické struktury	Chemická a teplotní odolnost; Invar 36 nabízí téměř-nulovou tepelnou roztažnost

 

 

Nejste si jisti, která třída odpovídá vaší roli?Zašlete nám procesní prostředí (úroveň vakua, chemie plynů, teplota, vystavení RF) spolu s výkresem -, před cenovou nabídkou doporučíme materiál a povrchovou úpravu.

 

Polovodičové součástky často vyžadují mikronovou-přesnost na těsnicích plochách, montážních základnách, kontaktních plochách-waferů a přesných otvorech, takže nástroje se sestaví správně a procesy zůstanou opakovatelné.

 

Specifikace	Typická schopnost	Typické polovodičové aplikace
Lineární rozměry	±0,01 mm (přesnost na ±0,005 mm)	Komorové díly, základní desky, rozdělovače
Průměr vrtání a hřídele	±0,005–0,01 mm	Rotory čerpadel, vřetena ventilů, přesné fitinky
Plochost	Až 0,01 mm/100 mm	Těsnící čela, chladicí desky, kinematické uložení
Soustřednost / házivost	Až 0,01 mm	Rotační části čerpadla, spojky
Skutečná pozice	±0,01 mm	Vzory otvorů-pro šrouby, otvory pro rozvod plynu
Drsnost povrchu	Ra 0,2–0,8 μm standard; Ra 0,1–0,4 μm na vyžádání	Těsnící plochy, kontaktní plochy-waferů, vnitřky komor
Odjehlování hran	Kontrolováno podle výkresu (k dispozici je mikro-odjehlovač)	Všechny částice-kritické části
Tolerance závitu	Podle požadavků ISO / ASME	Fitinky, příruby, montážní kování

 

Kritické funkce, které kontrolujeme

Těsnění a O-kroužkové drážky- kontrolovaná hloubka, šířka a povrchová úprava pro vakuová a kapalinová těsnění.

Kontaktní plochy-wafer- kontrola rovinnosti a drsnosti, aby se zabránilo poškození plátků a vytváření částic.

Přesné vývrty a lícování- přesné otvory pro ložiska, hřídele a lisované-komponenty.

Otvory pro rozvod plynu- přesná velikost otvoru, poloha a odstranění otřepů pro rovnoměrný průtok plynu.

Porovnávací a montážní vlastnosti- konzistentní základny pro opakovatelné sestavení a zarovnání.

 

Povrchová úprava je součástí strategie kontaminace a koroze v polovodičových zařízeních. Správná povrchová úprava kontroluje částice, odplyňování, chemickou odolnost a elektrické chování.

Nejste si jisti, která povrchová úprava vyhovuje vašemu procesu?Zašlete svůj výkres, materiál a žádost o doporučení finální úpravy.

 

Během výroby kontrolujeme kritické rozměry, lícování, rovinnost, házivost a povrchové požadavky, abychom zajistili, že CNC obráběné polovodičové díly splňují výkres. Pro projekty, které vyžadují zdokumentovanou kvalitu, můžeme dodat materiálové certifikáty, zprávy o rozměrech a dokumentaci o čistotě na podporu vaší vstupní kontroly.

Potřebujete zdokumentovanou kontrolu kvality?Pošlete nám své výkresy a požadavky na kontrolu.

 

Polovodičové projekty často začínají prototypy - návrhů nových nástrojů, vývojem procesních sad, upgradovanými součástmi nebo náhradními součástmi, které musí být před výrobou ověřeny. podporujemeprototypové a maloobjemové-obrábění CNCod počátečních vzorků po opakování malých{0}}dávkových objednávek.

Vhodné pro

Hardware vakuové komory a dodávky plynu

Komponenty pro manipulaci a upínání destiček

Leptání, depozice a iontové implantační díly

RF, elektrické a tepelné řídící díly

Metrologické a kontrolní přípravky

Náhradní díly a sady procesů pro stávající nástroje

 

Obal

Individuální ochrana:PE sáčky, pěna nebo ochranná fólie na opracované povrchy

Balení pro čisté prostory:Vyčištěné díly zabalené v dvojitém-sáčku do čistých sáčků (k dispozici je možnost propláchnutí dusíkem{1}}

Malé díly:Dělené kartony, aby se zabránilo poškrábání a kontaktu mezi jednotlivými-částmi{1}}

Přesné díly:Pěnové vložky a oddělené přihrádky pro kritické komponenty

Vlastní balení:Čísla dílů, štítky, množství a požadavky na balení{0}}specifické pro zákazníka

 

Typická dodací lhůta

Typ objednávky	Typická dodací lhůta
Prototyp	5–10 pracovních dnů
Nízký-objem objednávky	10–20 pracovních dnů
Výrobní zakázka	15–30 pracovních dnů
Opakujte objednávku	10–25 pracovních dnů

 

Potřebujete konkrétní harmonogram dodávek?Odešlete své výkresy, množství a požadavky na dokončení pro konkrétní projekt-cenovou nabídku.

 

Pošlete svůj 2D výkres nebo 3D CAD soubor, jakost materiálu, množství, toleranci a požadavky na konečnou úpravu.

 

Populární Tagy: polovodičové cnc obráběné díly, Čína výrobci polovodičových cnc obráběných dílů, dodavatelé, továrna, titan